Influence of tilt of sample on axial beam properties

0315084 - ÚPT 2009 RIV DE eng C - Conference Paper (international conference)
Radlička, Tomáš - Lencová, Bohumila
Influence of tilt of sample on axial beam properties.
[Vliv náklonění vzorku na vlastnosti osového svazku.]
EMC 2008 - 14th European Microscopy Congress - Volume 1: Instrumentation and Methods. Berlin: Springer, 2008 - (Luysberg, M.; Tillmann, K.; Weirich, T.), s. 599-600. ISBN 978-3-540-85154-7.
[EMC 2008 - European Microscopy Congress /14./. Aachen (DE), 01.09.2008-05.09.2008]
R&D Projects: GA AV ČR IAA100650805
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : parasitic aberration * misalignment aberrations
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

A sample in a vacuum chamber of a scanning electron microscope equipped with a cathode lens should be perpendicular to the axis because the energy of primary electrons is about ten eV. In real situations the tilt of the sample about one or two degrees is possible. The sample is an electrode and its tilt breaks the rotation symmetry of the system. It causes that parasitic field is present, which easily influences the properties of a low energy beam. We simulated the influence of the tilt of sample on axial beam properties for the electron beam with energy 10 keV in front of the objective lens the energy of primary impacting electrons on the sample was 10 eV.

Vzorek v komoře elektronového mikroskopu s katodovou čočkou by měl být kolmý na osu. V reálném zařízení je však možné, že je vzorek vlivem nepřesností nakloněn o jeden či dva stupně. Protože je mezi vzorek a objektiv přivedeno brzdné napětí, naklonění vzorku způsobuje porušení rotační symetrie elektrostatického pole v katodové čočce, to pak vede ke vzniku parazitického dipólového pole, které snadno ovlivňuje vlastnosti dopadajícího svazku s nízkou energií. V příspěvku byl popsán vliv naklonění vzorku o jeden stupěň na svazek o energii 10 keV před objektivem a 10 eV na vzorku.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0004855