Obrazy ze sekundárních elektronů v rastrovacich elektronových mikroskopech

0308565 - ÚPT 2008 RIV CZ cze J - Journal Article
Konvalina, Ivo - Müllerová, Ilona
Obrazy ze sekundárních elektronů v rastrovacich elektronových mikroskopech.
[Micrographs of secondary electrons in the scanning electron microscopes.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 2 (2008), s. 57-59. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : ET detector * secondary electrons * collection efficiency * electrostatic and magnetic field
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Článek se zabývá výpočty sběrové účinnosti Everhartova-Thornleyho detektorů v různých rastrovacích elektronových mikroskopech. Na třech detekčních systémech je ukázán vliv rozložení magnetického a elektrostatického pole v komoře mikroskopu na trajektorie sekundárních elektronů, které ovlivňují výsledný obrazový kontrast

This article deals with the calculations of collection efficiency of the Everhart-Thornley detector in the different scanning electron microscopes. The effect of magnetic and electrostatic fields distribution in the chamber of microscope on the trajectories of the secondary electrons on the final image contrast is demonstrated for three detection systems.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0161002