Carbon nanotubes synthesized by plasma enhanced CVD at atmospheric pressure and their post -deposition treatment

0308518 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Kučerová, Z. - Zajíčková, L. - Jašek, O. - Eliáš, M. - Synek, P. - Matějková, Jiřina - Rek, Antonín - Buršík, Jiří
Carbon nanotubes synthesized by plasma enhanced CVD at atmospheric pressure and their post -deposition treatment.
[Depozice a zpracování uhlíkových nanotrubek připravených metodou PECVD za atmosférického tlaku.]
New Perspectives of Plasma Science and Technology - International Workshop for Students and Young Researchers. Brno: Brno University of Technology, 2007, -. ISBN N.
[New Perspectives of Plasma Science and Technology. Brno (CZ), 23.10.2007-25.10.2007]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z20410507
Keywords : PECVD * carbon nanotubes * oxidation * SEM
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Carbon nanotubes (CNTs) were synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition from mixture of argon, methane and hydrogen using microwave plasma torch at atmospheric pressure. Nanotubes grew on a complex substrate system consisting of silicon wafer, buffer layer and thin catalytic iron film. As confirmed by scanning electron microscopy (SEM), this deposition technique produces bundles or ropes of nanotubes covered by crust composed of catalytic particles, amorphous carbon and other impurities such as fullerenes or other carbon nanoparticles. Because many scientific and technological applications, as well as characterization techniques require individual nanotubes a great attention has to be paid to the post-deposition processing of the deposit. The nanotube bundle could be separated by ultrasonication of the deposit in organic or inorganic liquid. Most commonly used liquids are water or ethanol.

Uhlíkové nanotrubky byly syntetizovány metodou PECVD ze směsi argonu, metanu a vodíku v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku. Nanotrubky rostly na křemíkovém substrátu s difúzní bariérou a tenkou vrstvou katalyzátoru Fe. Analýza rastrovací elektronovou mikroskopií (SEM) prokázala přítomnost uhlíkových nanotrubek pokrytých vrstvou tvořenou částicemi katalyzátoru, amorfním uhlíkem a dalšími druhy uhlíkových nanočástic. Jelikož mnohé aplikace vyžadují použití jednotlivých nanotrubek bez nečistot byla značná pozornost věnována čistění a separaci syntetizovaných nanotrubek. Shluky nanotrubek mohou být separovány za pomoci ultrazvuku v organických rozpouštědlech jako je etanol nebo vodě.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0160979