Detekce sekundárních elektronů v REM

0308436 - ÚPT 2008 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Konvalina, Ivo - Hovorka, Miloš - Wandrol, P. - Mika, Filip - Müllerová, Ilona
Detekce sekundárních elektronů v REM.
[Detection of secondary electrons in SEM.]
Mikroskopie 2008. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2008 - (Frank, L.), s. 32. ISBN N.
[Mikroskopie 2008. Nové Město na Moravě (CZ), 07.02.2008-08.02.2008]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : detection systems * secondary electrons * SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Tři systémy detektorů sekundárních elektronů byly simulovány za účelem zjištění, která část emitovaných sekundárních elektronů je detekována.

The three detection systems of secondary electrons were simulated in order to determine which part of the emitted SEs is collected.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0160920