Grain Contrast in Very Low Energy SEM

0308385 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Pokorná, Zuzana - Frank, Luděk
Grain Contrast in Very Low Energy SEM.
[Kontrast zrn na velmi nízkých energiích v REM.]
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy. Prague: Czechoslovak Microscopy Society, 2007 - (Nebesářová, J.; Hozák, P.), s. 63-64. ISBN 978-80-239-9397-4.
[Multinational Congress on Microscopy /8./. Prague (CZ), 17.06.2007-21.06.2007]
R&D Projects: GA ČR GA202/04/0281
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : grain contrast * very low energy * SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

When lowering energy of incident electrons to 100 eV and less, the elastic scattering becomes heavily anisotropic while the inelastic scattering progressively drops off. Energy dependence of the reflected signal becomes then specific to the crystal orientation. The experiments with the imaging of the metal polycrystals were done in the SEM equipped by the cathode lens.

Při snižování energie dopadajících elektronů na 100 eV a méně se pružný rozptyl stává silně anizotropní, zatímco nepružný rozptyl výrazně klesá. Energiová závislost odraženého signálu se pak stává specifická pro určitou krystalovou orientaci. Experimenty umožňující takto zobrazení kovových polykrystalů byly provedeny v REM vybaveném katodovou čočkou.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0160884