Metrology of micromirrors with replicated multilayers

0305449 - ASÚ 2008 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Švéda, L. - Inneman, A. - Semencová, V. - Pína, L. - Hudec, René - Havlíková, R.
Metrology of micromirrors with replicated multilayers.
[Metrologie mikrozrcadel s multivrstvami.]
Advances in X-Ray/EUV Optics and Components II. -: -, 2007 - (Khounsary, A.; Morawe, C.; Goto, S.), 67050D.01-67050D.09. ISBN 0-8194-6396-5.
[Advances in X-Ray/EUV Optics and Components /2./. San Diego (US), 27.08.2007-27.08.2007]
R&D Projects: GA AV ČR IAAX01220701; GA MŠMT ME 918
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10030501
Keywords : X-ray optics * X-ray telescopes
Subject RIV: BN - Astronomy, Celestial Mechanics, Astrophysics

Replicated multilayers inside the rotationally symmetric x-ray mirrors with diameter 0.5-4 mm are being investigated. While the replicated Micromirror technology as well as replicated multilayers on the planar surface were already studied, we present here the combination of both technologies. Initial simulations and development of metrology of multilayers inside small cavities are described, as well as very first results of experiments.

Replikované multivrstvy uvnitř rentgenových objektivů s průměrem 0.5 - 4 mm jsou vyšetřované. a diskutované Zatímco opakované Micromirror technologie stejně jako opakované vícevrstvé režimy na rovinném povrchu byly již studované, my prezentujeme zde kombinaci obou technologií. Počáteční simulace a vývoj metrologie vícevrstvých režimů uvnitř malých dutin jsou popisované, stejně jako vůbec první výsledky experimentální.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0158735