Medoty analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody

0205564 - UPT-D 20020114 RIV CZ cze M - Monography Chapter
Müllerová, Ilona
Mikroskopie pomalými elektrony.
[Microscopy by slow electrons.]
Medoty analýzy povrchů. Iontové, sondové a speciální metody. Praha: Academia, 2002 - (Frank, L.; Král, J.), s. 383 - 448. ISBN 80-200-0594-3
Institutional research plan: CEZ:AV0Z2065902
Keywords : scanning electron microscope * imaging of surfaces * specimen chamber
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Princip rastrovacího elektronového mikroskopu je znám již přes šedesát let, avšak komerčně začal být tento přístroj využíván pro zobrazení povrchů objemových vzorků až v šedesátých letech a brzy našel široké uplatnění jakv oblasti neživé, tak i živé přírody. Mikroskop obvykle pracoval v rozsahu energií primárních elektronů 5 keV až 40 keV s rozlišením pod 10 nm. Jako zdroj elektronů bylo použito pouze wolframové vlákno, tlak v komoře preparátu dosahoval okolo 10^-3 Pa. Dodnes se tento typ vyrábí jako nejnižší kategorie přístroje, avšak analogové ovládání mikroskopu bylo jižnahrazeno digitálním ovládáním prostředníctvím osobního počítače s bohatým software. Nevýhodou těchto přístrojů je především pokles velikosti primárního proudu na nepoužitelnou hodnotu a ztráta rozlišení pří energiích podněkolik keV.

The principle of scanning electron microscope is known for more than 60 years [1-3], although it was not commercially exploited for imaging of surfaces of dimensional samples until the sixties. Its applications were soon used in the area of both insentient and live nature. The microscope usually worked in the range of primary electrons´ energies from 5 keV up to 40 keV with resolution under 10 nm. Only a tungsten fibre was used as a sourceof electrons, the pressure in the specimen chamber reached up to 10-3 Pa.This instrument is being produced until nowadays as a lowest type of the device, however the analog control of the device was replaced by the digital one by a PC with sophisticated software. As the disadvantages of theseinstruments can be named especially decrease of primary current level to an unusable value as well as loss of the resolution at energies under several keV.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0101177