Možnosti testování metriky přístrojů STM a AFM

0205379 - UPT-D 20010018 RIV CZ cze J - Journal Article
Matějka, František - Matějková, Jiřina - Lopour, F.
Možnosti testování metriky přístrojů STM a AFM.
[The Possibilities of Testing of the Metrics of the STM and AFM Devices.]
Československý časopis pro fyziku. Roč. 5, č. 1 (2001), s. 38-42. ISSN 0009-0700
R&D Projects: GA AV ČR IBS2065014
Institutional research plan: CEZ:AV0Z2065902
Keywords : experimental exploitation of STM and AFM devices * reliefs creation
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Při experimentálním využívání přístrojů STM a AFM je téměř vždy nastolována otázka o správnosti a přesnosti metrických rozměrů celého obrazu i jeho detailů. Řešením je testování přístroje vhodným a metricky popsaným testovacím vzorkem. V našem příspěvku chceme poukázat na možnosti přípravy testovacích vzorků s trojrozměrnými detaily, jejichž rozměry jsou submikrometrové a jejichž metrika je garantována buď technologií přípravy, fyzikálními vlastnostmi materiálu, nebo nezávislým přesným měřením.

At experimental exploitation of STM and AFM devices there was almost always raised the question of correctness and exactness of metric dimensions of the whole image and its details. The solution could be a testing of the device by an appropriate and metrically described testing specimen. In our contribution we would like to attract the attention to the possibilities of preparation of the testing specimens with three-dimensional details, whose dimensions are in units of sub-micrometers and whose metric is guaranteed either by the technology of preparation or by physical properties of the material or by an independent exact measurement.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0100993