Electrostatic Low Energy Scanning Electron Microscope for Auger Analysis

0109049 - UPT-D 20040050 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Romanovský, V. - El Gomati, M. M. - Frank, Luděk - Müllerová, Ilona
Electrostatic Low Energy Scanning Electron Microscope for Auger Analysis.
[Elektrostatický nízkoenergiový rastrovací elektronový mikroskop pro Augerovu analýzu.]
Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, 2004 - (Müllerová, I.), s. 65-66. ISBN 80-239-3246-2.
[Recent Trends /9./ in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Skalský Dvůr (CZ), 12.07.2004-16.07.2004]
R&D Projects: GA ČR GA202/04/0281
Keywords : scanning low energy electron microscope * scanning Auger microscopy
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

A scanning low energy electron microscope (SLEEM) was realized with a cathode lens in which the negatively biased specimen is used as the cathode. In this arrangement, electrons pass through the microscope at high energy and are decelerated to low energy before landing on the sample. This design brings plenty of signal even in the landing energy range of tens or units of eV. However, the use of the primary electrons with low energy brings some problems e.g. low source brightness, increased aberrations and sensitivity to stray fields. The scanning Auger microscopy (SAM) is well-established experimental method. A combination of SAM and SLEEM in one device would therefore provide a sufficient tool to solve the problems inherent in these individual methods. Although much has already been achieved in the area of detection of slow electrons, none of the methods currently known is suitable to be built into a scanning illumination column for Auger microprobe analysis

Byl realizován rastrovací nízkoenergiový elektronový mikroskop (SLEEM) s katodovou čočkou, v níž jako katoda slouží vzorek připojený na záporný potenciál. V tomto uspořádání procházejí elektrony mikroskopem s vysokou energií a na nízkou energii jsou bržděny těsně před svým dopadem na vzorek. Takový systém zajišťuje vysokou úroveň signálu dokonce i při energiích dopadu v desítkách nebo jednotkách eV. Používání primárních elektronů o nízké energii přináší mnohé problémy, jako např. nízký jas zdroje, zvětšené zobrazovací vady a citlivost k rušivým polím. Rastrovací Augerova mikroskopie (SAM) je dobře zavedenou experimentální metodou. Kombinace SAM a SLEEM v jediném zařízení by tedy představovala nástroj postačující k vyřešení problémů, s nimiž se tyto metody potýkají jednotlivě. Ačkoliv již bylo mnohé vykonáno na poli detekce pomalých elektronů, žádná z metod známých v současnosti není způsobilá k zabudování do rastrovacího osvětlovacího tubusu pro analytickou Augerovu mikrosondu
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0016161