0104234 - FZU-D 20040576 RIV CZ eng K - Conference Paper (Czech conference)
Novotný, Michal - Jelínek, Miroslav - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Zelinger, Zdeněk
Study of plasma in hybrid PLD system for CN_x films creation.
[Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CN_x vrstev.]
Optické komunikace. Praha: TechMarket, Praha, 2002, s. 124-125.
[Workshop O.K. 2002. Praha (CZ), 01.10.2002-05.10.2002]
R&D Projects: GA AV ČR IAA1010110
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : CN x films * hybrid PLD system
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism

We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OES

Byl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0011509