Investigation of plasma polymer and nano composite polymer films by Rutherford Backscattering Spectrometry and by Elastic Recoil Detection Analysis analytical methods

0101838 - UJF-V 20043005 RIV SK eng J - Journal Article
Macková, Anna - Peřina, Vratislav - Hnatowicz, Vladimír - Biederman, H. - Slavínská, D. - Choukourov, A.
Investigation of plasma polymer and nano composite polymer films by Rutherford Backscattering Spectrometry and by Elastic Recoil Detection Analysis analytical methods.
[Vyšetřování plazmových polymerů a nanokompozitních polymerních filmů analytickými metodami spektroskopie Rutherfordova zpětného rozptylu a detekcí elastického odrazu.]
Acta Physica Slovaca. Roč. 54, č. 1 (2004), s. 7-10. ISSN 0323-0465. E-ISSN 1336-040X
R&D Projects: GA MŠMT OC 527.100
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1048901
Keywords : coatings
Subject RIV: BG - Nuclear, Atomic and Molecular Physics, Colliders
Impact factor: 0.513, year: 2004

In this work, we have studied the composition of polymer thin films prepared by plasma polymerisation and d.c. magnetron sputtering. We investigated two sets of samples, one set Ag composite layers and the second set nitrogen containing plasma polymers, both deposited on the silicon substrate. The Rutherford Backscattering Spectrometry and Elastic Recoil Detection Analysis measurement was used to characterize the composition and to determine the element depth profiles in the deposited layers.

Bylo studováno složení tenkých polymerních filmů, připravených plasmovou polymerizací a stejnosměrným magnetronovým sputteringem. Bylo charakterizováno složení a určeny prvkové hloubkové profily v deponovaných vrstvách.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0009232