Laser deposited thin organic and inorganic active layers for low temperature ozone sensors

0100725 - FZU-D 20040448 RIV NL eng J - Journal Article
Fryček, R. - Myslík, V. - Vrňata, M. - Vysloužil, F. - Jelínek, Miroslav - Náhlík, J.
Laser deposited thin organic and inorganic active layers for low temperature ozone sensors.
[Laserová depozice tenkých organických a anorganických aktivních vrstev pro nízkoteplotní senzory ozónu.]
Sensors and Actuators B - Chemical. Roč. 98, - (2004), s. 233-238. E-ISSN 0925-4005
R&D Projects: GA ČR GA104/03/0406; GA ČR GP106/03/P061; GA AV ČR IAA1010110
Grant - others:GA ČR(CZ) GP106/01/P089
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914; CEZ:MSM 223400007
Keywords : pulsed laser deposition * In 2 O 3 * WO 3 and InAcAc basic materials * ozone and NO x * low temperature sensitivity
Subject RIV: JB - Sensors, Measurment, Regulation
Impact factor: 2.083, year: 2004

Thin inorganic and organic-based active layers of gas sensors were deposited by pulsed laser deposition. The prepared sensors were tested for atmosphere containing 100ppb of ozone and 130 ppm of NO_x. Low temperature sensitivity, response dynamics and activation energy of surface reaction were studied. The sensitivity of InAcAc based sensor achived S=470 at 120^oC to ozone and S=50 at 270^oC to NO_x.

Tenké anorganické a organické aktivní vrstvy pro plynní senzory byli deponovány pulsní laserovou depozicí. Připravené senzory byli testovány v atmosféře obsahující 100 ppb ozonu a 130 ppm NOx. Byla studována nízkoteplotní senzitivita, dynamická odezva a aktivační energie (Ea) povrchových reakcí. Dosažená senzitivita čidel založených na InAcAc S=470 při 120 °C na ozón a S=50 při 270 °C na NO_x.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0008217