0100169 - FZU-D 20040149 RIV NL eng J - Journal Article
Kulykovskyy, Valeriy - Boháč, Petr - Franc, František - Chvostová, Dagmar - Deyneka, Alexander - Vorlíček, Vladimír - Jastrabík, Lubomír
Degradation and stress evolution in a-C, a-C:H a Ti-C:H films.
[Degradace a vývoj pnutí ve vrstvách a-C, a-C:H a Ti-C:H.]
Surface and Coatings Technology. 142-144, - (2001), s. 702-706. ISSN 0257-8972
R&D Projects: GA MŠMT LN00A015
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : sputtering * diamond-like carbon * stress evolution * coating degradation
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 1.236, year: 2001

Some observations of the stress evolution and degradations of diamond-like a-C, a-C:H and Ti-C (10-20 at.% of Ti) films deposited by magnetron sputtering of the C or Ti target in the Ar or Ar+CH₄ gas mixture are presented. The compressive stress increased during several days for Ti-C:H films but not for a-C films. The growth of stress was accompanied by a decrease of optical constants n and k

Jsou prezentována některá pozorování vývoje vnitřních pnutí a degradace diamantu podobných vrstev a-C, a-C:H a Ti-C (10-20 at.% Ti) deponovaných magnetronovým naprašováním z C nebo Ti targetů v Ar nebo směsi Ar+CH₄. Tlaková pnutí rostla v průběhu několika dní ve filmech Ti-C:H, nerostla ve vrstvách a-C. Růst pnutí byl provázen poklesem optických konstant n a k
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007674