Number of the records: 1
Application of a helium calibrated leak for a cryopump performance measurement
- 1.0100018 - UPT-D 20040018 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Urban, Pavel - Dupák, Jan - Hanzelka, Pavel - Králík, Tomáš - Musilová, Věra
Application of a helium calibrated leak for a cryopump performance measurement.
[Měření čerpací rychlosti kryovývěvy pomocí kalibrované heliové netěsnosti.]
Proceedings of the 8th Cryogenics 2004 IIR international conference. Praha: ICARIS, 2004, s. 44-46. ISBN 2-913149-33-2. ISSN 0151-1637.
[Cryogenics 2004 /8./ IIR International Conference. Praha (CZ), 27.04.2004-30.04.2004]
R&D Projects: GA ČR GA101/00/0028
Keywords : cryogenic * cryopump * Monte Carlo simulation
Subject RIV: BJ - Thermodynamics
This article describes the application of a calibrated He leak for measurement of the pumping speed of a small UHV helium bath cryopump. The pumping speed for He gas was measured with two versions of the optical baffles of the cryopump. The results were compared with the calculations by Monte Carlo simulation
Článek popisuje použití heliové kalibrované netěsnosti k měření čerpací rychlosti malé heliové lázňové kryovývěvy. Čerpací rychlost byla měřena pro dva typy vstupních radiačních přepážek kryovývěvy. Výsledky měření byly srovnány s výpočty metodou Monte Carlo
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007525
Number of the records: 1