Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů

0095347 - ÚPT 2008 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Müllerová, Ilona - Klein, Pavel - Konvalina, Ivo
Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů.
[Multichannel detector of low energy backscattered electrons.]
Internal code: 5532 ; 2007
Technical parameters: Paralelní osmikanálový detektor úhlového rozložení pomalých, zpětně odražených elektronů se zesilovačem na bázi kanálkové destičky.
Economic parameters: Předběžně nelze stanovit.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : multi-channel-plate detector * basckscattered electrons * low energy electrons * scanning electron microscope
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Byl navržen, zkonstruován, vyroben a vyzkoušen paralelní osmikanálový detektor úhlového rozložení pomalých, zpětně odražených elektronů se zesilovačem na bázi kanálkové destičky pro rastrovací elektronový mikroskop. Detektor je schopen zachytit elektrony odražené s polárním úhlem emise až do 90deg s energií od několika set eV do několika desítek keV. Systém využívá principu katodové čočky a proto je možné plynule měnit jak energii dopadajících elektronů tak úhlové rozložení emitovaných elektronů ze vzorku. Experimenty potvrdily úhlovou selektivitu kontrastu krystalické struktury.

Parallel eight channels detector of the angular distribution of low energy backscattered electrons, based on the amplifier formed by the multi-channel-plate detector was design and tested in the scanning electron microscope. Detector is able to collect backscattered electrons with the polar angle of the emission up to 90deg, with the energy from several hundred eV up to several tens of keV. The system is using a cathode lens principle; therefore it is possible to fluently control not only the landing energy of primary electrons but even the angular distribution of the emitted electrons from the specimen. The experiments confirmed the angular sensitivity of the crystallographic contrast.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0154962