Number of the records: 1
Study of mechanical properties of NCD coatings
- 1.0091644 - ÚFM 2008 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Buršíková, V. - Buršík, Jiří - Karásková, M. - Jašek, O. - Zajíčková, L. - Franta, D. - Klapetek, P. - Bláhová, O.
Study of mechanical properties of NCD coatings.
[Studium mechanických vlastností NCD vrstev.]
Vrstvy a povlaky 2007. Rožnov pod Radhoštěm: LISS a.s, 2007, s. 1-6.
[Coatings and Layers 2007. Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 29.10.2007-30.10.2007]
R&D Projects: GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20410507
Keywords : nanocrystalline diamond * microwave PECVD
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
The aim of the paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen.
Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD)pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím (-125 V)v reaktoru typu ASTEX.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0152188
Number of the records: 1