Využití iontových svazků pro analýzu materiálů

0087309 - ÚJF 2008 RIV CZ cze H - Proceedings (Czech conference)
Macková, Anna - Bočan, Jiří - Malinský, Petr
Využití iontových svazků pro analýzu materiálů.
[Ion beam analysis in material science.]
Praha: Česká vakuová společnost, 2007. 8 s. ISBN N. ISSN 1213-2705.
[Letní škola vakuové techniky. Štrbské pleso (SK), 04.06.2007-07.06.2007]
R&D Projects: GA AV ČR(CZ) KJB100480601; GA MŠMT(CZ) LC06041
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10480505
Keywords : ion beam analysis, TOF-ERDA, RBS
Subject RIV: BG - Nuclear, Atomic and Molecular Physics, Colliders

V této práci prezentujeme výsledky aplikace iontových svazků pro studium materiálů, kombinace metod RBS, PIXE, ERDA nám umožňují komplexní prvkovou charakterizaci složitých struktur amorfních i krystalických určených pro optiku, elektroniku a studium difůzních procesů v dalších odvětví materiálových věd. Popisujeme zde nově instalované metody TOF-ERDA a RBS-channeling a jejich aplikace na zkoumané materiály a výsledky testování těchto metod na našem pracovišti.

In this paper we presented our results of complementary research using ion beam analysis for study of materials. Combination of RBS, PIXE and ERDA method enables us to characterize the elemental composition and the elemental depth profiles of complex multi-layer systems or study complicated difussion processes in different applications of material sciences. We described the newly installed methods TOF-ERDA and RBS-channeling and their application on material characterization and the results of testing of these methods at our workplace.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0149196