Composite TiO2/hydrocarbon plasma polymer films prepared by magnetron sputtering of TiO2 and poly(propylene)

0087289 - ÚJF 2008 RIV DE eng J - Journal Article
Drabik, M. - Hanuš, J. - Kousal, J. - Choukourov, A. - Biederman, H. - Slavínská, D. - Macková, Anna - Pešička, J.
Composite TiO2/hydrocarbon plasma polymer films prepared by magnetron sputtering of TiO2 and poly(propylene).
[Kompozitní vrstvy TiO2 a uhlovodíků připravených plasmatickou polymerizací s využitím magnetronového naprašování TiO2 a polypropylénu.]
Plasma Processes and Polymers. Roč. 4, č. 6 (2007), s. 654-663. ISSN 1612-8850. E-ISSN 1612-8869
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10480505
Keywords : composite thin films * magnetron * poly(propylene) (PP)
Subject RIV: BE - Theoretical Physics
Impact factor: 2.132, year: 2007

This study describes the preparation and the properties of TiOx/hydrocarbon plasma polymer composite films. Films are prepared by simultaneous sputtering in argon from two balanced magnetrons equipped with TiO2 and PP targets. The resulting films exhbit a wide range of properties in depencence on the preparation conditions - primarily on the ratio of the deposition rates r(TiOx)/r(PP) and thus the power delivered to the magnetrons. The deposition process is monitored by optical emission spectroscopu. The composition and morphology of the composite films have been analyzed by means of RBS/ERDA, FTIR, AFM, and TEM. Optical properties of the films are studied in the UV and visible range of the spectrum. Finally, an attempt has been made to express the amount of inorganic phase present in the organic matrix in terms of a filling factor.

Tato studie popisuje přípravu a vlastnosti TiOx/uhlovodíkových kompozitních vrstev připravených plasmatickou polymerizací. Vrstvy byly připravovány současným odprašováním dvou vyvážených magnetronů v argonu vybavených TiO2 a PP terči. Výsledné vrstvy vykazují vlastnosti v závislosti na podmínkách přípravy - primární je závislost na poměru TiO2/PP a výjinu magnetronů. Složení a morfologie vrstev byla sledována metodami RBS-ERDA, FTIR, AFM a TEM. Optické vlastnosti vrstëv byly charakterizovány metodami spektroskopie v oblasti UV a viditelné. Snahou bylo rovněž vyjádřit množství anorganické fáze v organické matrici ve formě faktoru výplně.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0149184