Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM

0050988 - ÚPT 2007 cze K - Conference Paper (Czech conference)
Konvalina, Ivo
Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.
[The quantification of the detection efficiency of the secondary electron detector in SEM.]
PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: ÚPT AV ČR, 2006, s. 25-28. ISBN 80-239-7957-4.
[PDS 2006. Brno (CZ), 19.12.2006]
R&D Projects: GA ČR GA102/05/2327
Keywords : collection efficiency * ET detector * secondary electrons
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

4) Práce se zabývá modelováním trajektorií sekundárních elektronů pro stanovení sběrové účinnosti detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech. Cílem práce je studovat vlivy elektrostatických a magnetických polí a geometrických parametrů v komoře mikroskopu na trajektorie signálních částic v okolí detektoru.

This work deals with the trajectories of the secondary electrons simulations to calculate the collection efficiency of the secondary electron detector in the scanning electron microscopes. The aim of this work is to study the influences of the electrostatic and magnetic fields and the geometrical parameters in the specimen chamber on the trajectories of signal particles in the detector vicinity.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140990