New BSE Detector for Low Voltage SEM

0050970 - ÚPT 2007 CZ eng K - Conference Paper (Czech conference)
Wandrol, Petr - Autrata, Rudolf
New BSE Detector for Low Voltage SEM.
[Nový detektor zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový SEM.]
Mikroskopie 2006. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2006, s. 45.
[Mikroskopie 2006. Nové Město na Moravě (CZ), 16.02.2006-17.02.2006]
R&D Projects: GA AV ČR KJB200650501
Keywords : backscattered electrons * detector * low voltage SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

This work deals with the description of the new scintillation detector of backscattered electrons for the low voltage scanning electron microscope.

Práce se zabývá popisem nového scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový rastrovací elektronový mikroskop.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140976