Number of the records: 1
Napěťový kontrast v ESEM
- 1.0050969 - ÚPT 2007 CZ cze K - Conference Paper (Czech conference)
Linhart, Jan - Neděla, Vilém - Autrata, Rudolf
Napěťový kontrast v ESEM.
[Voltage contrast in ESEM.]
Mikroskopie 2006. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2006, s. 36.
[Mikroskopie 2006. Nové Město na Moravě (CZ), 16.02.2006-17.02.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : voltage contrast * environmental scanning electron microscopy
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
Článek popisuje možnost diagnostiky polovodičových součástek pomocí metody napěťového kontrastu v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii.
This paper deals with possibility of use voltage contrast in environmental scanning electron microscopy.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0140975
Number of the records: 1