Experimental Device for Electron Beam Micromachining

0049504 - ÚPT 2007 RIV BG eng J - Journal Article
Dupák, Libor - Zobač, Martin - Dupák, Jan - Vlček, Ivan
Experimental Device for Electron Beam Micromachining.
[Experimentální zařízení na obrábění elektronovým svazkem.]
Elektrotechnica & Elektronica. Roč. 41, 5-6 (2006), s. 272-275. ISSN 0861-4717.
[EBT 2006 - International Conference on Electron Beam Technologies /8./. Varna, 05.06.2006-10.06.2006]
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron beam drilling * quartz glass
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The paper describes experimental device for electron beam micromachining as well as some experiments. The device itself is derived from electron beam welding machine SES-1 developed at ISI Brno. Using this device, several types of materials as stainless steel, titanium, quartz glass, ceramics and some plastics were drilled.

Článek popisuje experimentální zařízení na mikroobrábění elektronovým svazkem spolu s několika experimenty. Zařízení je odvozeno ze stolní elektronové svářečky SES-1 vyvinuté na ÚPT v Brně. Pomocí tohoto zařízení byla úspěšně vrtána řada rozdílných materiálů jako nerezová ocel, titan, křemenné sklo, keramika a některé plasty.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0139878