Methodology of slow electron microscopy with cathode lens

0047353 - ÚPT 2006 RIV CZ eng L - Prototype, f. module
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Methodology of slow electron microscopy with cathode lens.
[Metodika mikroskopie pomalými elektrony s katodovou čočkou.]
Internal code: SLEEM ; 2005
Technical parameters: Metodika rastrovací elektronové mikroskopie elektrony o libovolně nízké energii s vysokým rozlišením obrazu, realizovaná pomocí tzv. katodové čočky.
Economic parameters: Podstatné rozšíření zobrazovacích možností rastrovacího elektronového mikroskopu, získání nových typů obrazových kontrastů.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : low energy electron microscopy * nano-diagnostics
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Conventional scanning electron microscope with the primary electron beam of energy 10 keV or more is equipped by the cathode lens with the sample serving as the cathode. In the field of the cathode lens the primary beam, already formed and focused, is retarded to an arbitrarily low energy, and in the same field the emitted electrons are accelerated and collimated toward optical axis. The cathode lens is completed with a detector of the signal beam, situated either above the objective lens or below it, and in the later case combined with anode of the cathode lens. Correcting effect of the cathode lens reduces significantly aberrations of the assembly and enables one to achieve image resolution in units of nanometers for the electron landing energy even in the range of units of electronvolts.

Standardní rastrovací elektronový mikroskop s primárním svazkem elektronů o energii 10 keV nebo více je doplněn o katodovou čočku s preparátem fungujícím jako katoda. V poli katodové čočky je již zformovaný a zaostřený svazek elektronů zpomalen na libovolně nízkou energii, a v témže poli jsou emitované elektrony urychleny a kolimovány k optické ose. Katodová čočka je doplněna o detektor signálního svazku, který je umístěn buď nad objektivem mikroskopu nebo se nachází pod ním a v tom případě je sloučen s anodou katodové čočky. Korekční účinek katodové čočky výrazně redukuje zobrazovací vady a umožňuje dosáhnout rozlišení jednotek nanometrů i pro energii dopadu elektronů v jednotkách elektronvoltů.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0138285