Metoda měření detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu

0047349 - ÚPT 2006 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Metoda měření detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu.
[Method for quantification of the detection efficiency of secondary electron detectors in the scanning electron microscope.]
Internal code: DETEFF ; 2005
Technical parameters: Metoda objektivního hodnocení a postup měření kvantové detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu ve statickém režimu stabilního signálu a procedura vyhodnocení časové odezvy detektoru na signálový skok.
Economic parameters: Metoda umožňuje objektivní srovnání různých konfigurací detektorů a rovněž vyhodnocování efektu konstrukčních změn a inovací.
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : electron detectors * scanning electron microscope * detective quantum efficiency * secondary electrons
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Byla vyvinuta a ověřena metodika objektivního hodnocení parametrů detektorů sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech cestou měření kvantové detekční účinnosti DQE. Statické měření četnosti ztrát informaci nesoucích událostí (elektronů emitovaných ze vzorku) je založeno na statistickém vyhodnocení obrazu sejmutého z bezkontrastového preparátu. Rychlost odezvy detektoru je měřena statistickým vyhodnocením obrazu sejmutého pomocí svazku přerušovaného rychlým zatmíváním.

Methodology has been developed and proved for objective evaluation of parameters of the secondary electron detectors for scanning electron microscopes by means of measurement of the detective quantum efficiency DQE. Static measurement of the rate of losses in information bearing events (electrons emitted from the sample) is based on statistical evaluation of an image acquired with a contrast-less sample. Speed of the detector response is determined upon statistical evaluations of an image taken with the beam interrupted by fast blanking.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0138282