Detektor sekundárních elektronů pro environmentální SEM

0047261 - ÚPT 2007 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Autrata, Rudolf - Jirák, Josef - Skřivánek, J.
Detektor sekundárních elektronů pro environmentální SEM.
[Secondary electrons detector for environmental SEM.]
Internal code: SED ; 2005
Technical parameters: Nový typ scintilačního detektoru pro detekci sekundárních elektronů v komoře vzorku environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Economic parameters: Scintilační detektor umožňuje detekci sekundárních elektronů do tlaku 1000 Pa v komoře vzorku
R&D Projects: GA ČR GA102/05/0886
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20650511
Keywords : scintillation secondary electron detector * environmental SEM
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

Byl vyvinut scintilační detektor umožňující detekci sekundárních elektronů v rastrovacích elektronových mikroskopech pracujících s tlaky v komoře vzorku až 1000 Pa (environmentální rastrovací elektronové mikroskopy). Systém tlak omezujících clon detektoru a oddělené vakuové čerpání jednotlivých prostorů detektoru zabezpečí funkci scintilátoru při vyšším tlaku v komoře vzorku, současně elektrodový systém detektoru umožňuje přivést sekundární elektrony z komory vzorku ke scintilátoru.

Scintillation detector has been developed for the detection of secondary electrons in scanning electron microscopes that work with pressure up to 1000 Pa in the specimen chamber. System of pressure limiting apertures and separate vacuum pumping of individual rooms of the detector allow to maintain function of the scintillator at higher pressure in the specimen chamber. Simultaneously, the electrode system of the detector allows to pass secondary electrons through the detector to the scintillator.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0138217