Mechanical Properties of Nanostructured Composite Diamond Thin Films Prepared by Microwave PECVD Enhanced by RF Induced DC Self-Bias

0045239 - ÚFM 2007 RIV PL eng C - Conference Paper (international conference)
Buršíková, V. - Frgala, Z. - Buršík, Jiří - Jašek, O. - Zajíčková, L. - Karásková, M. - Matějková, Jiřina - Rek, Antonín - Franta, D. - Klapetek, P.
Mechanical Properties of Nanostructured Composite Diamond Thin Films Prepared by Microwave PECVD Enhanced by RF Induced DC Self-Bias.
[Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukovaným stejnosměrným předpětím.]
E-MRS 2006 Fall Meeting. Varšava: Warsaw University of Technology, 2006, s. 14-14. ISBN 83-89585-12-X.
[E-MRS 2006 Fall Meeting. Varšava (PL), 04.09.2006-08.09.2006]
R&D Projects: GA ČR(CZ) GA106/05/0274; GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Institutional research plan: CEZ:AV0Z20410507; CEZ:AV0Z20650511
Keywords : nanostructures * composites * diamond films
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepatred by PECVD enhanced by RF induced DC self bias.

Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0137819