Number of the records: 1
Deposition of PZT Thin Films on Polymer Substrate by Means of Low Pressure Plasma Jet Systém
- 1.0029810 - FZÚ 2006 RIV GB eng J - Journal Article
Deyneka, Alexander - Hubička, Zdeněk - Jastrabík, Lubomír - Čada, Martin - Virostko, Petr - Olejníček, Jiří - Suchaneck, G. - Gerlach, G.
Deposition of PZT Thin Films on Polymer Substrate by Means of Low Pressure Plasma Jet Systém.
[Depozice tenkých vrstev PZTna polymerní substráty pomocí systému s nízkotlakou plazmatickou tryskou.]
Ferroelectrics. Roč. 316, - (2005), s. 157-166. ISSN 0015-0193. E-ISSN 1563-5112
R&D Projects: GA AV ČR(CZ) KJB1010301; GA ČR(CZ) GP202/02/D078; GA AV ČR(CZ) KJB1010302
Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100520; CEZ:AV0Z10100521
Keywords : ferroelectric thin films * spectral ellipsometry * hollow cathode sputtering
Subject RIV: BM - Solid Matter Physics ; Magnetism
Impact factor: 0.459, year: 2005
PbZrxTi1-xO3 (PZT} thin films were deposited by pulse modulated low pressure jet system on Pt-coated polymer substrates.PZT films were analyzed by XRD, spectral ellipsometry and electron mocroprobe
PbZrxTi1-xO3 (PZT}tenké vrstvy byly deponovány pomocí pulzně modulovaného tryskového systému na platinou pokryté polymerní substráty. Připravené PZT vrstvy byly analyzovány pomocí XRD , spektrální elipsometrie a elektronové mikrosondy
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0119603
Number of the records: 1