RF Hollow Cathode Plasma Jet Deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. Films

0027161 - FZÚ 2006 RIV US eng C - Conference Paper (international conference)
Ianno, N.J. - Soukup, R. J. - Hubička, Zdeněk - Olejníček, Jiří - Šíchová, Hana
RF Hollow Cathode Plasma Jet Deposition of Ba_xSr_1-xTiO₃ Films.
[Depozice vrstev Ba_xSr_1-xTiO₃ pomocí RF plasmové trysky.]
Materials, Integration and Technology for Monolithic Instruments. Pittsburgh: Warendale, PA, 2005 - (Theil, A.; Bohm, M.; Gardner, S.; Blalock, T.), D2.4.1-D2.4.6. Material Research Society Symposium Proc, 869. ISBN 1-55899-823-3.
[MRS Spring Meeting. San Francisco (US), 28.03.2005-01.04.2005]
R&D Projects: GA AV ČR(CZ) KJB1010302
Keywords : BSTO thin films * hollow cathode * emission spectroscopy
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

An initial study of the RF hollow cathode plasma jet deposition of BaxSr1ـxTiO3 has been performed. Deposition occurred from a single composite nozzle consisting of BaTiO3 and SrTiO3 at substrate temperatures on the 500-550°C range. It has been shown that film composition can be easily controlled by the nozzle composition as well as other deposition parameters. The as-deposited films exhibit clear BSTO peaks with grain size on the order of 30 nm

Práce představuje úvodní studii depozice BaxSr1ـxTiO3 vrstev pomocí RF plasma jet systému. K depozici byly použity BaTiO3 a SrTiO3 trysky a teplota substrátu byla udržována v rozmezí 500-550 °C. V práci je ukázáno, že kompozice vrstev může být snadno kontrolována pomocí kompozice použitých trysek a některých dalších parametrů. Deponované vrstvy vykazují čisté BSTO píky při velikosti zrn řádově 30 nm
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0117285