Preparation of wear resistant layers with low friction by magnetron sputtering and RF plasma assisted chemical vapor deposition systems with hollow cathodes (516.50)

0024675 - FZÚ 2006 RIV LU eng V - Research Report
Boháč, Petr
Preparation of wear resistant layers with low friction by magnetron sputtering and RF plasma assisted chemical vapor deposition systems with hollow cathodes (516.50).
[Příprava otěruvzdorných vrstev s nízkým třením pomocí magnetronů a RF plazma-chemických systémů s dutými katodami.]
Luxembourg: Office for Official Publications of the European Communities, 2001. 4 s. ISBN 92-894-0639-9
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) OC 516.50
Institutional research plan: CEZ:AV0Z1010914
Keywords : magnetron sputtering, ECR PA CVD * low pressure plasma jet systems * amorphous carbon * carbon nitride films * tribological properties
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

Final report deals with review of solution of this COST project with main conclusions: 1. Magnetron sputtering, ECR PA CVD or low pressure plasma jet systems are suitable for preparation of tribological coatings; 2. All amorphous carbon and also carbon nitride films were elastic, hard, and have a good tribological properties.Application of RF bias -100 V improves a lot these properties

Závěrečná zpráva se zabývá přehledem řešení tohoto projektu COST s nejdůležitějšími závěry: 1. Magnetronové naprašování, ECR PA CVD nebo tryskové systémy s nízkotlakou plazmou jsou vhodné pro depozici tribologických povlaků; 2. Všechny filmy z amorfního uhlíku nebo karbon-nitridové byly elastické, tvrdé a měly dobré tribologické vlastnosti.Tyto vlastnosti vylepšuje depozice při RF předpětí -100
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0115178