Number of the records: 1  

Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje

  1. 1.
    ProjectVýzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
    Project NameTF03000025
    Grant AgencyGA TA ČR
    Research years2016 - 2019
    Grant Recipient Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    Participants Čada
    Catal.org.CAV
    References (1) - Článek v odborném časopise
    (1) - Prototyp, funkční vzorek
    (1) - Užitný vzor, průmyslový vzor
    FileProjekty
Number of the records: 1  

  This site uses cookies to make them easier to browse. Learn more about how we use cookies.

Accept allSettingsReject all