Number of the records: 1  

Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje

  1. 1.
    ProjectVýzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje.
    Project NameTF03000025
    Grant AgencyGA TA ČR
    Research years2016 - 2019
    Grant Recipient Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
    (Spolu)řešitel projektu Čada
    Catal.org.CAV
    References (1) - Prototyp, funkční vzorek
    Database230g - Autorita projektu