Basket

0424549 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu.
[An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma.]
Internal code: IONEU2013 ; 2013
Technical parameters: Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Economic parameters: Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
R&D Projects: GA TA ČR TA01010517
Grant - others:AVČR(CZ) M100101215
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : deposition rate * neutral/ion flux ratio * magnetic field * QCM sensor
Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0230613