Basket

0573585 - ÚPT 2024 RIV CZ eng L - Prototype, f. module
Mrňa, Libor - Kolařík, Vladimír - Hopp, J. - Horák, S. - Stoklasa, B. - Úlehla, L.
Compensated telecentric F-Theta projection objective for micromachining applications at 257 nm.
Internal code: APL-2022-38 ; 2022
Technical parameters: Výsledkem je design funkčního vzorku a funkční vzorek f-theta objektivu s difraktivním prvkem pro korekci chromatické aberace.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: doc. RNDr. Libor Mrňa, Ph.D, mrna@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : F-theta objective * Laser micromachining * Diffractive optical element * Pulsed high-power laser * Chromatic aberration correction
OECD category: Mechanical engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0344001