0567776 - ÚPT 2023 RIV CZ cze C - Conference Paper (international conference)
Krátký, Stanislav - Kolařík, Vladimír - Mikel, Břetislav - Helán, R. - Urban, F.Příprava fázových binárních mřížek pomocí elektronové litografie a reaktivního iontového leptání pro výrobu optických vláknových senzorů.
[Binary phase masks fabrication using the method of e-beam lithography and reactive ion etching for optical fiber sensors manufacturing.]
LA62. Sborník příspěvků multioborové konference LASER62. Brno: Ústav přístrojové techniky AV ČR, 2022 - (Růžička, B.), s. 43-44. ISBN 978-80-87441-30-5.
[LASER62. Lednice (CZ), 09.11.2022-11.11.2022]
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) FW01010379
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : Binary phase gratings * e-beam lithography * reactive ion etching * optical fiber sensors * diffraction grating
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0339029
