Basket

0559047 - FZÚ 2023 RIV cze P - Patent Document
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Houha, R. - Matulová, L.
Optická polovodivá tenká vrstva, způsob její výroby, zařízení vhodné pro výrobu této vrstvy a čtecí zařízení.
[Optical semiconducting thin film, method of its production, equipment suitable for the production of this layer and reading devices.]
2022. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., IQS group, s.r.o. Date of the patent acceptance: 18.05.2022. Patent Number: 309261
R&D Projects: GA MPO FV20580
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : plasma * sputtering * semiconductor film * impedance * spatial gradient
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309261.pdf
Permanent Link: https://hdl.handle.net/11104/0332466