0551136 - ÚPT 2022 RIV CZ cze Z - Pilot plant, v. technol., variety, breed
Klapetek, P. - Valtr, M. - Řeřucha, Šimon - Holá, Miroslava - Číp, OndřejTechnika kombinace kontaktních a bezkontaktních dat na optických prvcích.
[Technique for combination of contact and non-contact data on optical elements.]
Internal code: APL-2021-16 ; 2021
Technical parameters: Ověřená technologie dovoluje vyhodnotit drsnost a tvar testovaného vzorku pomocí snímání rozptylu světla od povrchu vzorku a dále kontaktní odměřením profilu povrchu. Následnou fúzí dat z obou měřicích metod lze dosáhnout rozlišitelnosti nehomogenit < 1 mikrometr, které se mohou na povrchu vzorku vyskytnout.
Economic parameters: Ověřená technologie realizovaná při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Petr Klapetek, Ph.D., pklapetek@cmi.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : surface diagnostics * optical metrology * cross-section scanning * light difraction sensing
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326580
