0551118 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Krzyžánek, Vladislav - Láznička, Tomáš - Kolouch, A. - Mrázová, T. - Horodyský, P.Detektor STEM.
[STEM detector.]
Internal code: APL-2021-15 ; 2021
Technical parameters: Retraktabilní scintilační detektor STEM je navržen pro instalaci ke skenovacím elektronovým mikroskopům (SEM) za účelem detekce signálních elektronů prošlých, resp. rozptýlených průchodem skrz tenký vzorek. Detektor obsahuje tělo detektoru s výškově nastavitelnou přírubou o průměru 158 mm s velmi jemným posuvem o maximálním rozsahu 180 mm. Detektor obsahuje dvě na sobě nezávislé jednotky, které jsou spolu pevně spojené: jedna pro detekci rozptýlených elektronů do větších úhlů (ADF, annular dark-field) a druhá pro detekci zejména nerozptýlených elektronů (BF, bright-field). Rozsah sběrných úhlů je pro ADF cca 13-280 mrad, pro BF cca do 13 mrad (přesné hodnoty závisí na přesné poloze detektoru a pracovní vzdálenosti). Každá jednotka je složena ze světlovodu, na jehož jednom konci je velmi rychlý scintilátor a na druhém konci je fotonásobič s řídící elektronikou a zesilovači signálu. Součástí STEM detektoru je Faradayova klec pro přesné měření proudu svazku dopadajícího na vzorek, který umožňuje následné kvantitativní zobrazování pomocí obou STEM segmentů ADF a BF. Funkčnost funkčního vzorku byla ověřena v SEM Magellan 400/L (Thermo Fisher Scientific) v kombinaci s externí skenovací jednotkou DISS5 (Point elektronic) na Ústavu přístrojové techniky AV ČR v Brně.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Vladislav Krzyžánek, Ph.D., vlk@isibrno.cz.
R&D Projects: GA MPO(CZ) FV30271
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : STEM * scanning electron microscopy * electron detection * quantitative imaging
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326560
