0550697 - ÚPT 2022 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Sháněl, O. - Schneider, M. - Materna-Mikmeková, Eliška - Řiháček, Tomáš - Podstránský, Jáchym - Radlička, TomášSi3Nx fázová destička.
[Si3Nx phase plates.]
Internal code: APL-2021-05 ; 2021
Technical parameters: Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu. Rozměr (Okénko v křemíkovém čipu) membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Tloušťka membrány je optimalizovaná tak, aby v posouvala fázi procházejícího svazku o pi/2. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm a ve středu clonky je malý otvor o rozměrech v jednotkách µm, který byl vytvořen pomoci FIB/SEM, tak aby odpovídal velikosti nultého řádu difrakce v zadní objektivové rovině.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : transmission electron microscopy * phase plate * silicon nitride * thin layers
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0326001
