Basket

0539967 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Tvarog, Drahoslav - Hubička, Zdeněk - Poruba, A. - Dolák, J.
ICP plazma zdroj.
[ICP plasma source.]
Internal code: FVMF2/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Vnější průměr vstupní části ICP zdroje: 6 mm. Vnitřní průměr vstupní části ICP zdroje: 4 mm. Vnější průměr pracovní části ICP zdroje: 25 mm. Vnitřní průměr pracovní části ICP zdroje: 23 mm.
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TM01000039
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : inductively coupled plasma * Minimal Fab * low-temperature plasma * ALD * RF plasma
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0317650