0537050 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Čada, Martin - Hubička, Zdeněk - Hnilica, J. - Klein, P. - Vašina, P.Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů.
[Device for deposition rate increase in HiPIMS using pulse packages.]
Internal code: FVNCK1/FZU/2020 ; 2020
Technical parameters: Délka pulzu: 30 μs, vzdálenost mezi pulzy v balíčku: 20 μs, střída: 5 %, počet pulzů:4, pracovní tlak v reaktoru: 1 Pa
Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
R&D Projects: GA TA ČR TN01000038
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : sputtering * thin films * plasma * deposition * deposition rate * pulse package * ionization fraction
OECD category: Fluids and plasma physics (including surface physics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314801
