0537041 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Šarbort, Martin - Holá, Miroslava - Schovánek, P. - Řeřucha, Šimon - Oulehla, Jindřich - Lazar, Josef - Číp, OndřejZařízení pro měření drsnosti optických povrchů.
[Roughness measurement device for optical surfaces.]
Internal code: APL-2020-14 ; 2020
Technical parameters: Rozsah X-Z skenování dx=200 mikronů s krokem 10 nm, dz=-+10mikronů s krokem 1nm, statické konfigurace senzoru pro měření drsnosti (axicon, wedge, 4-point) a dynamická konfigurace (prostorový modulátor světla). Nejistota měření < 1 mikrometr.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: prof. Ing. Josef Lazar, Dr., joe@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : rughness measurement * optical metrology * optical surfaces * cross-section scanning
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314796
