Basket

  1. 1.
    0536587 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Seďa, B. - Vašina, R. - Oral, Martin - Řiháček, Tomáš - Radlička, Tomáš
    Nástavec pro objektivovou čočku.
    [Objective lens extender.]
    Internal code: APL-2020-09 ; 2020
    Technical parameters: Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima.Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Přínos extenderu pro zlepšení vlastností skenovacího elektronového mikroskopu se mění podle operačních podmínek.
    Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Martin Oral, Ph.D., oral@isibrno.cz
    R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
    Institutional support: RVO:68081731
    Keywords : scanning electron microscope * variable objective lens * acceptance of signal electrons * secondary electrons * resolution * immersion field
    Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
    OBOR OECD: Electrical and electronic engineering
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314350