Basket

  1. 1.
    0536585 - ÚPT 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Radlička, Tomáš - Řiháček, Tomáš - Oral, Martin - Seďa, B. - Vašina, R.
    Annulární clona pro SEM.
    [Annular aperture for SEM.]
    Internal code: APL-2020-08 ; 2020
    Technical parameters: Pro výrobu byl použitý standardní aperturní strip, který je tvořený nosnou křemíkovou vrstvou pokovenou 200 nm vrstvou Molybdenu. Anulární apertura byla vyrobena pomoci technologie iontového fokusovaného svazku.
    Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz
    R&D Projects: GA TA ČR(CZ) TN01000008
    Institutional support: RVO:68081731
    Keywords : scanning electron microscope * diffraction * resolution * annular aperture
    Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering
    OBOR OECD: Electrical and electronic engineering
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314349