0531103 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Řeřucha, Šimon - Holá, Miroslava - Hrabina, Jan - Oulehla, Jindřich - Šarbort, Martin - Lazar, Josef - Konečný, P. - Kůr, J. - Číp, OndřejKalibrační interferometrický nanokomparátor pro ověřování stupnic sensorů délky nové generace.
[Interferometric nano-comparator for calibrations of length gauges with nanometre accuracy.]
Internal code: APL-2020-01 ; 2020
Technical parameters: Rozsah měření délek až 70 mm, rozlišení měřené vzdálenosti 0.1 nm, linearita měření délky < 10 nm, absolutní přesnost < 10 nm, režim měření: absolutní, rozsah provozních teplot 18-25 oC.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Ondřej Číp, Ph.D., ocip@isibrno.cz
R&D Projects: GA MPO(CZ) FV10336
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : laser interferometry * optical metrology * displacement gauge * calibration
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0309846
