0517195 - ÚPT 2020 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Mika, Filip - Dupák, Libor - Pokorná, ZuzanaMiniaturizovaný analyzátor sekundárních elektronů.
[Miniaturized secondary electron analyser.]
Internal code: APL-2019-19 ; 2019
Technical parameters: Funkční vzorek byl vyroben s cílem ověřit vlastnosti návrhu a konstrukce miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů umístitelného dovnitř komory rastrovacího elektronového mikroskopu přímo na manipulátor vzorku. Spektrometr obsahuje ve směru průletu elektronů tyto prvky: vzorek, elektrodu vymezující úhlový rozsah diagnostikovaných elektronů, dvojici elektrod toroidního tvaru, napěťový a detekční systém. Energie primárního svazku: 2 keV, energie zkoumaných elektronů 0–50 eV, výška 28 mm, průměr 35 mm
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika Ph.D., mika@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : secondary electron * energy filtering * toroidal analyser
OECD category: Coating and films
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0302484
