0499077 - ÚPT 2019 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Šilhan, Lukáš - Šerý, Mojmír - Maňka, TadeášSpektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání.
[Spectroscopic system for deep reactive ion etching system.]
Internal code: APL-2018-16 ; 2018
Technical parameters: Měřící systém slouží pro měření spektrální odezvy substrátu v systému hlubokého iontového reaktivního leptání. Systém je vybaven multimodovým optickým vláknem pro sběr signálu z plazmové komory, precizní optomechanickou částí pro rozklad signálu do spektrální oblasti. K detekci signálu je použit citlivý řádkový senzor. Ke zpracování měřených dat je využita mikroprocesorová jednotka s USB připojením ovládána programem v jazyce Python. Konstrukce je složena z tříosých kinematických držáků optických komponent (kolimátoru, koutových odražečů, děliče svazku a detekční jednotky). Nastavení optomechanických komponent je provedeno kinematickými závěsy s precizním nastavením. Pro minimalizaci teplotní roztažnosti je celá sestava vyrobena z duralové slitiny.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Bc. Lukáš Šilhan, silhan@isibrno.cz
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : DRIE * spectroscopy
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0291360
