Basket

0499076 - ÚPT 2019 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Maňka, Tadeáš - Šerý, Mojmír
Úprava držáku pro galvanické pokovování mikroelektromechanických systémů.
[Modification of holder for electroplating of microelectromechanical systems.]
Internal code: APL-2018-15 ; 2018
Technical parameters: Funkční vzorek je určen pro galvanické pokovování vodivých vzorků s rozměry 36x36 mm. Většina komponent je vyrobena z ABS plastu na 3D tiskárně. Aparatura je vybavena držákem substrátu sloužícím pro pokovení pouze jedné strany vzorku. Pro připojení elektrického napětí slouží soustava čtyř pružin, které přitlačují vzorek k elektrodě a zajištují tím elektrický kontakt.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : electroplating holder * electroplating of silicon wafers
OECD category: Mechanical engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0291359