0498267 - ÚPT 2019 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Skoupý, Radim - Krzyžánek, VladislavIn-situ držák pro SEM umožňující zobrazování tenkých vzorků s možností práce při vyšších teplotách.
[In-situ SEM holder for imaging of thin samples with possibility of imaging at high temperature.]
Internal code: APL-2018-09 ; 2018
Technical parameters: In-situ držák pro rastrovací elektronové mikroskopy (SEM) vybavené kryo-systémem typu Bal-Tec (Balzers, Lichtenštajnsko) a Leica microsystems (Vídeň, Rakousko) pro účely pozorování vzorků při vysokých teplotách. In-situ držák byl navržen pro pozorování velmi tenkých vzorků umístěných na TEM síťkách a to tak, aby bylo možné pozorování v transmisním módu pomocí retraktabilního STEM detektoru. Zároveň in-situ držák umožňuje pozorování vzorků pomocí detektoru pro energiově-disperzní analýzu paprsků rentgenového záření (EDX) a katodoluminiscenčního (CL) detektoru. In-situ držák je navržen takovým způsobem, aby jej bylo možné přenášet pomocí kryo-vakuového transferu VCT100 (Bal-Tec, Balzers, Lichtenštajnsko a Leica microsystems, Vídeň, Rakousko). In-situ držák umožňuje pevné uchycení až čtyř TEM sítěk standardních rozměrů (tj. průměr 3.05 mm) na konci ramene směřujícího od základny. Vzdálenost středu TEM sítěk od základny je 17 mm, což zaručuje možnost jeho použití pro většinu komerčně dostupných retraktabilních polovodičových STEM detektorů (testováno na STEM detektorech firmy FEI). Rozsah provozních teplot držáku je v rozmezí od pokojové teploty do 500 K.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Ing. Radim Skoupý, ras@isibrno.cz
R&D Projects: GA TA ČR TG03010046; GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : In-situ SEM * in-situ STEM * in-situ holder
OECD category: Electrical and electronic engineering
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0290660
