0482540 - ÚPT 2018 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Maňka, Tadeáš - Šerý, MojmírInterferometrický odměřovací systém pro systém hlubokého reaktivního leptání.
[Interferometric measuring system for deep reactive ion etching system.]
Internal code: APL-2017-08 ; 2017
Technical parameters: Systém slouží k přesnému měření hloubky leptu v systému hlubokého reaktivního leptání. Je vybaven náhledovým kamerovým systémem umožňující kontrolu procesu výroby mikrostruktur. K odměřování hloubky leptu je použit He-Ne laser o vlnové délce 543 nm. Pro detekci signálu je použita metoda homodynní detekce. Konstrukce je složena z tříosých kinematických držáků optických komponent (kolimátoru, koutových odražečů, děliče svazku a detekční jednotky). Nastavení opto-mechanických komponent je provedeno kinematickými závěsy s precizním nastavením. Pro minimalizaci teplotní roztažnosti je celá sestava vyrobena z duralové slitiny.
Economic parameters: Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : DRIE * laser interferometry * Michelson interferometer
OECD category: Optics (including laser optics and quantum optics)
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0277967