Basket

  1. 1.
    0476548 - FZU-D 2017 RIV cze P - Patent Document
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kment, Štěpán - Olejníček, Jiří - Adámek, Jan - Straňák, Vítězslav
    Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu.
    [A method of measuring deposition low pressure plasma using wave resonance of electron cyclotron waves and a device for performing this method.]
    2017. Owner: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Date of the patent acceptance: 31.05.2017. Patent Number: 306799
    R&D Projects: GA TA ČR TA03010743
    Institutional support: RVO:68378271
    Keywords : plasma deposition * electrone-cyclotrone wave * acoustic emission
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics
    OBOR OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
    https://isdv.upv.cz/webapp/webapp.pts.det?xprim=10195504&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0273025