Basket

0452397 - ÚPT 2016 RIV CZ cze J - Journal Article
Lazar, Josef - Holá, Miroslava - Hrabina, Jan - Oulehla, Jindřich - Číp, Ondřej - Vychodil, M. - Sedlář, P. - Provazník, M.
Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii.
[Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 14-17. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA ČR GB14-36681G; GA TA ČR TA02010711; GA TA ČR TA01010995; GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : interferometry systems * dimensional measurement * nanometrology
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0253412